O fluxo específico de processo de exibições OLED baseado em silício pode ser dividido em cinco partes, ou seja, processo de backplane (produção de backplane do driver), processo de deposição de vapor, processo de embalagem, processo do corpo da tela e processo de módulo:
(1) Fabricação da placa traseira do motorista: Os placas de fundo CMOs necessárias para OLEDs à base de silício são fabricadas usando processos de semicondutores, seguidos pelo uso de deposição física de vapor, deposição de vapor químico, exposição à luz amarela e processos de desenvolvimento, processos de gravação e outras técnicas para criar camadas de reflexão de ânodo e camadas de confinamento de ânodo.
(2) Processo de evaporação: inclui principalmente limpeza de substrato, evaporação do material orgânico e evaporação do material do cátodo.
(3) Processo de embalagem: Em primeiro lugar, a embalagem de filme OLED à base de silício é fabricada usando equipamentos PECVD e ALD; Em seguida, por meio de materiais de filtro de cor orgânico com revestimento de rotação com luz amarela, as três cores primárias (R, G, B) necessárias para a produção de OLEDs à base de silício são expostas e desenvolvidas para concluir o processo de colorização.
(4) Tecnologia do corpo da tela: inclui principalmente o corte e a limpeza de peças de tela grandes, além de etapas de inspeção elétrica e visual. Depois de passar a inspeção, eles são armazenados no armazém.
(5) Processo do módulo: através da limpeza, ligação adesiva, corte, inspeção de aparência, ligação, revestimento de cola, inspeção de aparência e teste, é amadurecido e embalado para armazenamento após passar a inspeção.